中國科學院微電子研究所 KW-4A型臺式勻膠機/旋涂儀/涂膠機

產(chǎn)品簡介 

我研究室生產(chǎn)的KW-4A型勻膠機適應(yīng)于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動迅速等優(yōu)點，并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型和KW-5型。 

產(chǎn)品主要特點 

1、開關(guān)電流調(diào)速，穩(wěn)定性能更好，轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)以數(shù)字顯示為準。 

2、轉(zhuǎn)速在500～8000轉(zhuǎn)／分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。   

3、采用雙轉(zhuǎn)速。在啟動之后，先以低速運轉(zhuǎn)，使膠攤開，然后自動轉(zhuǎn)換到高速運轉(zhuǎn)。兩種轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時間分別可調(diào)，時間分別控制在1～18秒和3秒～1分鐘。 

4、具有定時功能。  

5、測速采用光電的辦法，產(chǎn)生光電脈沖，由晶體分頻測速準確性高。  

6、"吸片"采用電磁閥控制氣路，一個氣泵可同時帶幾臺勻膠機工作，適合流水線的工藝，提高了效率。   

7、在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減振措施，保證了在運轉(zhuǎn)時噪音低。 

性能指標：